無(wú)錫泓川科技 LT-R 系列反射膜厚儀基于光干涉原理,
采用高強(qiáng)度氘燈(190-400nm)與鹵素?zé)簦?50-2500nm)組合光源,
光譜覆蓋紫外可見(jiàn)光到近紅外范圍。
適配探頭包括 LT-IVP-T10-UV-VIS(彌散光斑)、
LT-IRVP-TVF(聚焦光斑)等型號(hào),不同探頭參考距離、測(cè)量角度、
光斑直徑等參數(shù)有所差異。其重復(fù)精度達(dá) 0.05nm,
準(zhǔn)確度為 <±1nm 或 ±0.3%(取較大值),
采樣頻率最高 100Hz(視求解參數(shù)復(fù)雜度而定),
測(cè)厚范圍約 20nm~50μm(折射率 1.5 時(shí))。
具備抗干擾能力強(qiáng)、納米級(jí)測(cè)量精度等特點(diǎn),
支持自定膜結(jié)構(gòu)測(cè)量、多層透明測(cè)厚、硬薄膜測(cè)量等,
可應(yīng)用于液晶顯示膜厚測(cè)量、噴涂膜厚測(cè)量、光伏硅片 Poly 層膜厚測(cè)量、
精密涂布膜層測(cè)厚等場(chǎng)景。測(cè)控軟件為 WLIStudio,
提供二次開(kāi)發(fā)包 WLI-SDK,工作溫度 10-40℃,
相對(duì)濕度 20%-85% RH(無(wú)冷凝),電源電壓 220V±20V 50Hz AC,
最大功率 50W。